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康寧Tropel FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)

美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀能夠對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。

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美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)也稱為平面度儀、平整度儀、平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業(yè)界常用的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術能在很短的時間內記錄下整個表面的數據。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學等材料科學和制程藝領域的知識,Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了精確的表面形態(tài)測量。能夠對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。



測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。


完整的分析系統(tǒng):

?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現自動、 快速、準確、穩(wěn)定且靈活的測量



工業(yè)應用 康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀應用領域:

?無接觸和無損傷測量
?適用多種類型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面




FlatMaster 200平面度儀技術參數:

精確度
50nm (2.0μ″)
重復性
15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率
5nm (0.2μ″
可測量工件尺寸
5mm-200mm
動態(tài)測量范圍
>100um
測量數據點
230,000
測量時間
5秒 
電源
~220V 50Hz
標準測量 球面半徑.平面度、線輪廓、表面粗糙度、



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