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現(xiàn)代精密制造中，當(dāng)需要確定整個表面的平整度，而單線掃描儀所能收集的信息或自坐標(biāo)測量儀得到少量的參考點資料不夠時，Tropel的Flat Master非接觸性入射式全面積掃描干涉儀則能對整個表面的平整度進(jìn)行快速而精確的測量，具有優(yōu)異的可重復(fù)性和精確性。Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界l先的表面形態(tài)測量。能夠?qū)Ω鞣N表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測量。

測量多種不同指標(biāo):
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng)：
?三維/ 拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現(xiàn)自動、 快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定且靈活的測量。

Flatmaster  40平面度儀：

美國康寧Corning Tropel Flatmaster  40平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界L先的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的  數(shù)據(jù)。Flatmaster 40平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。 

美國Flat Master系列平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160   多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識,   美國康寧CORNING平面度測量儀品牌創(chuàng)造并生產(chǎn)出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科  學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵組成部分。

CORNING
為精密零件制造商提供行業(yè)前沿的表面 形狀測量性能。我們的非接觸光學(xué)技 術(shù)可以在幾秒鐘內(nèi)分析整個表面,  Flatmaster提供一個納米分辨 率和50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度。它可 以很快地并精確測量平面度、 線輪廓度、半徑、以及其他 不同類型表面的表面參數(shù)。 在您的車間或在您的QC實驗室,  FlatMaster將以前所未有的速度 以及吞吐是全方面測量從而大大提 高您的加工過程,提高產(chǎn)量以及生產(chǎn)力。		技術(shù)特點：  ?無接觸和無損傷測量  ?適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料  ?適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰  ?適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，光滑面

部分技術(shù)參數(shù)： ***度：50nm （2.0μ″）  重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）  分辨率：5nm （0.2μ″）  可測量工件尺寸：5mm-40mm（更小工件也可提供）  動態(tài)測量范圍：>50um  測量數(shù)據(jù)點：230,000 / measurement  測量時間：5秒  電源：～220V 50Hz

美國康寧FlatMaster 40平面度儀/FM40平面度測量儀應(yīng)用實例：
?Tropel? FlatMaster40能測量物件的尺寸40mm。客戶化的定制能夠滿足不同用戶對動態(tài)測量范圍、精度和功能部件等內(nèi)容的不同需求。
?FlatMaster 40平面度測量設(shè)備采用激光干涉原理，一次性測試整個平面，同時獲取230,000個點的數(shù)據(jù)，應(yīng)對產(chǎn)品表面的劃痕，沙眼，崩角，凹凸不平，毛刺等問題可以直觀的顯示在測量結(jié)果中。

工業(yè)應(yīng)用實例：

半導(dǎo)體應(yīng)用實例：