Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級(jí)的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。
市場(chǎng)價(jià):
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美國(guó)康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測(cè)量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測(cè)量??梢詫?shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量,超過(guò)20年的工業(yè)應(yīng)用,全球幾百臺(tái)的裝機(jī)量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級(jí)的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。
康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應(yīng)用領(lǐng)域:
?實(shí)現(xiàn)單個(gè)或多個(gè)平面的光學(xué)非接觸一次性測(cè)量;
?適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料;
?適用多種類型晶片:硅/藍(lán)寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰;
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面;
平面度儀可測(cè)量技術(shù)參數(shù):
精確度 |
50nm (2.0μ″) |
重復(fù)性 |
15 nm(0.6μ″)(1 sigma) |
分辨率 |
5nm (0.2μ″) |
可測(cè)量工件尺寸 |
5mm-100mm |
動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍 |
>100um |
測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn) |
230,000 |
測(cè)量時(shí)間 |
5秒 |
電源 |
~220V 50Hz |
平面度儀測(cè)量多種不同指標(biāo):
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓;
完整的分析系統(tǒng):
?三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
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