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美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)?？祵嶤orning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量?？梢詫崿F(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。

康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應(yīng)用領(lǐng)域：
?實現(xiàn)單個或多個平面的光學(xué)非接觸一次性測量；
?適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料；
?適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰；
?適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面；

平面度儀可測量技術(shù)參數(shù)：

平面度儀測量多種不同指標：  
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓；
完整的分析系統(tǒng)：
?三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度