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X-Y 軸

英制

公制

XY 行程 (MVP 1500)

35" x 59"

900 x 1500 mm

XY 行程 (MVP 1550)

49" x 59"

1240 x 1500 mm

XY 行程 (MVP 1552)

59" x 59"

1500 x 1500 mm

XY 精度* (MVP 1500)

E2 = (5.0 + 8L/1000) μm

XY 精度* (MVP 1550)

E2 = (5.5 + 8L/1000) μm

XY 精度* (MVP 1552)

E2 = (8.5 + 8L/1000) μm

光柵尺分辨率

0.00002"

0.5 μm

Z-軸

Z 行程

8"

200 mm

Z 精度**

E1 = (4.0 + 8L/1000) μm

光柵尺分辨率

0.00002"

0.5 μm

光學(xué)性能

工作距離 (with VectorLight)

2.75"

70 mm

 20" 顯示器上放大倍率

35x to 175x

視場

0.07" - 0.35"

1.8 - 8.9 mm

物理特性

載重

220 lbs

100 kg

環(huán)境

溫度, 安全操作

59°F- 86°F

15°C- 30°C

達(dá)標(biāo)溫度 

68°F± 2°F

20°C± 1°C