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測量標準

RGS20-S：鍍金鋼帶，帶保護膜或聚酯涂層

讀數頭尺寸 (LxWxH)

36 mm x 13.5 mm x 10.5 mm

柵距

20 μm

熱膨脹系數

用端壓塊固定柵尺端部后，保持與基體材料膨脹系數一致

精度等級

±15 μm/m（應用2點補償時為±3 μm/m）

參考零位

利用磁勵體的單向重復精度達到1單位分辨率

限位開關

可選單限位（訂貨時選擇）

柵尺長度

長達50,000 mm

最高速度

模擬

數字

（帶REF接口）：

-3 dB時可達6 m/s

高可達5 m/s

電子細分誤差 (SDE)

一般小于±0.05 μm

動態(tài)信號控制

自調節(jié)主動修正包括自動偏置控制 (AOC)、自動增益控制 (AGC) 和自動平衡控制 (ABC)，在操作過程中實現優(yōu)性能

增量信號

模擬

數字

（帶REF接口）：

1 Vpp（周期為20 μm）

分辨率從5 μm至5 nm

電氣連接

電纜長度為1.5 m、3 m和5 m，采用D型插頭（15針）

電源

5 V - 5%，+ 10%；最大200 mA（無端接）

振動（工作）

55 Hz至2000 Hz時100 m/s2 （最大值）

震動（非工作）

1000 m/s2，6 ms，?正弦

工作溫度

0 °C至+ 55 °C

防護等級

讀數頭：IP40

接口：IP20