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測量標(biāo)準(zhǔn)

RSLM：高精度不銹鋼直線硬柵尺

還提供帶有端部參考零位的柵尺，如RSLE，以及帶有可選參考零位的柵尺，如RSLC

讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

柵距

20 μm

20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)

10.1 ±0.2 μm/m/°C

20 °C時(shí)的精度等級(jí)

1 m內(nèi)為±1.5 μm，2 m內(nèi)為±2.25 μm，3 m內(nèi)為±3 μm，5 m內(nèi)為±4 μm，校準(zhǔn)可溯源到國際標(biāo)準(zhǔn)

參考零位

IN-TRAC 參考零位

有關(guān)各種參考零位位置選項(xiàng)，詳見規(guī)格手冊(cè)

限位開關(guān)

雙限位

柵尺長度

20 mm至5000 mm

最高速度

最高可達(dá)12 m/s

（詳見規(guī)格手冊(cè)）

電子細(xì)分誤差 (SDE)

典型值 <±15 nm*

動(dòng)態(tài)信號(hào)控制

實(shí)時(shí)信號(hào)調(diào)節(jié)，包括自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)平衡控制 (ABC) 和自動(dòng)偏置控制 (AOC)，整個(gè)工作條件范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)性能優(yōu)化

增量信號(hào)

分辨率從5 μm至2.5 nm

（詳見規(guī)格手冊(cè)）

電氣連接

電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、2 m和3 m，采用D型插頭（9針和15針）或圓形同軸插頭（12針）

電源

5 V -5%/+10%，完全端接通常<200 mA

振動(dòng)（工作）

55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2（最大值）

震動(dòng)（非工作）

500 m/s2，11 ms，?正弦，3軸

工作溫度（系統(tǒng)）

0 °C至+70 °C

防護(hù)等級(jí)

IP40