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英國雷尼紹SiGNUM增量式光柵讀數(shù)頭

SiGNUM是雷尼紹的高精度、非接觸式20 µm柵距增量式光柵系統(tǒng),由一個Sr讀數(shù)頭和Si接口組成。

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什么是SiGNUM?

SiGNUM是雷尼紹的高精度、非接觸式20 μm柵距增量式光柵系統(tǒng),由一個Sr讀數(shù)頭和Si接口組成。它的防護(hù)等級為IP64,速度可達(dá)12.5 m/s,分辨率達(dá)5 nm,采用IN-TRAC自動調(diào)相光學(xué)參考零位,可以讀取多種直線光柵和圓光柵。SiGNUM使用方便,只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)并帶有免費診斷軟件,而且其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美,在溫度高達(dá)+85 °C的環(huán)境下,電子細(xì)分誤差通常<±30 nm。

柵尺選項


  • 直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
  • 圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運動控制。


ZeroMet?直線硬柵尺 

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)(20°C時)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RELM/RELE

RELM RSLM柵尺

1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m

20 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

1.5 m

SiGNUM




不銹鋼直線硬柵尺

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RSLM/RSLE/RSLC

RELM RSLM柵尺

1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm

20 μm

~10.8 μm/m/°C

5 m

SiGNUM



不銹鋼圓光柵

柵尺名稱

刻劃精度(取決于圓光柵直徑)

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

RESM/REST/RESD

RESM-REST圓光柵(柵尺頁面)

 ±3.97至±0.38角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至550 mm

SiGNUM 



高精度不銹鋼圓光柵 

柵尺名稱

安裝精度(取決于圓光柵直徑)

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

REXM/REXT

REXM圓光柵(柵尺頁面)

(≥100 mm直徑)±1角秒
(75 mm直徑)±1.5角秒
(≤57 mm直徑)±2角秒

20 μm

17 μm/m/°C

 

52至417 mm

SiGNUM



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