SiGNUM是雷尼紹的高精度、非接觸式20 µm柵距增量式光柵系統(tǒng),由一個Sr讀數(shù)頭和Si接口組成。
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SiGNUM是雷尼紹的高精度、非接觸式20 μm柵距增量式光柵系統(tǒng),由一個Sr讀數(shù)頭和Si接口組成。它的防護(hù)等級為IP64,速度可達(dá)12.5 m/s,分辨率達(dá)5 nm,采用IN-TRAC自動調(diào)相光學(xué)參考零位,可以讀取多種直線光柵和圓光柵。SiGNUM使用方便,只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)并帶有免費診斷軟件,而且其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美,在溫度高達(dá)+85 °C的環(huán)境下,電子細(xì)分誤差通常<±30 nm。
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù)(20°C時) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RELM/RELE ![]() |
1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m |
20 μm |
0.75 ±0.35 μm/m/°C |
1.5 m |
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC ![]() |
1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm |
20 μm |
~10.8 μm/m/°C |
5 m |
SiGNUM |
柵尺名稱 |
刻劃精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RESM/REST/RESD
|
±3.97至±0.38角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C |
52至550 mm |
SiGNUM |
柵尺名稱 |
安裝精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
REXM/REXT ![]() |
(≥100 mm直徑)±1角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C
|
52至417 mm |
SiGNUM |
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