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柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)（20°C時）

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RELM/RELE

1 m內為±1 μm，以后±1 μm/m

20 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

1.5 m

SiGNUM

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RSLM/RSLE/RSLC

1 m內為±1.5 μm，2 m內為±2.25 μm，3 m內為±3 μm，5 m內為±4 μm

20 μm

~10.8 μm/m/°C

5 m

SiGNUM

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

RESM/REST/RESD

 ±3.97至±0.38角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至550 mm

柵尺名稱

安裝精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

REXM/REXT

（≥100 mm直徑）±1角秒
（75 mm直徑）±1.5角秒
（≤57 mm直徑）±2角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至417 mm