VIONiC光柵的分辨率現(xiàn)可達到2.5 nm,并且全系列產(chǎn)品的電子細分誤差 (SDE) 均有降低。
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VIONiC光柵系列是雷尼紹性能*高的增量式光柵。它可提供直接的數(shù)字位置反饋,具有優(yōu)異的測量性能、速度快且可靠性高。VIONiC讀數(shù)頭集成雷尼紹經(jīng)過市場檢驗的可靠光學(xué)濾波系統(tǒng)和先進的細分技術(shù)。它具有低的電子細分誤差 (SDE)、優(yōu)異的抗污能力,而且無需額外使用適配器或單獨的接口。
VIONiC讀數(shù)頭可兼容各種直線柵尺和圓光柵,從低膨脹ZeroMet到高精度REXM圓光柵,無一例外。它因此成為一種通用型產(chǎn)品,適合各種對測量精度要求嚴格的應(yīng)用。
VIONiC讀數(shù)頭采用直觀的自動校準模式設(shè)計,易于安裝??蛇x的高級診斷工具 (Advanced Diagnostic Tool, ADT) (ADTi-100) 可在安裝或現(xiàn)場診斷期間提供實時的光柵數(shù)據(jù)反饋
VIONiC光柵的分辨率現(xiàn)可達到2.5 nm,并且全系列產(chǎn)品的電子細分誤差 (SDE) 均有降低。
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
20 °C時的熱膨脹系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
搭配可選FASTRACK?的RTLC20 |
±5 μm/m |
20 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
10 m |
VIONiC |
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
20 °C時的熱膨脹系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RELM/RELE ![]() |
1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m |
20 μm |
0.75 ±0.35 μm/m/°C | 1.5 m | VIONiC |
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 |
20 °C時的熱膨脹系數(shù) |
柵尺*大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC ![]() |
1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm |
20 μm |
10.1 ±0.2 μm/m/°C |
5 m |
VIONiC |
柵尺名稱 |
刻劃精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭 兼容性 |
RESM/REST ![]() |
±3.97至±0.38角秒 |
20 μm |
52至550 mm |
VIONiC |
柵尺名稱 |
安裝精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
REXM/REXT ![]() |
(≥100 mm直徑)±1角秒 (75 mm直徑)±1.5角秒 (≤57 mm直徑)±2角秒 |
20 μm | 52至417 mm | VIONiC |
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