TONiC是雷尼紹推出的小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng),速度可達(dá)10 m/s,與Ti接口配套使用時(shí),在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。
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什么是TONiC?
TONiC是雷尼紹推出的小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng),速度可達(dá)10 m/s,與Ti接口配套使用時(shí),在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn),因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡(jiǎn)單。TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性,而且電子細(xì)分誤差低,通常小于±30 nm,從而有助于實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動(dòng)控制性能。TONiC UHV將增量式光柵技術(shù)引入低至10-10 Torr的高真空應(yīng)用中,這類應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長(zhǎng)度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RGSZ/RGSN ![]() |
±15 μm/m |
20 μm |
使用端壓塊固定到基體,保持與基體相同的熱膨脹 |
如需超過(guò)50 m的長(zhǎng)度,請(qǐng)聯(lián)系雷尼紹 |
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長(zhǎng)度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
搭配可選FASTRACK?的RTLC20 ![]() |
±5 μm/m |
20 μm |
~10.6 μm/m/°C |
10 m |
TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長(zhǎng)度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RELM/RELE ![]() |
1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m |
20 μm |
0.75 ±0.35 μm/m/°C |
1.5 m |
TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長(zhǎng)度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC ![]() |
1 m內(nèi)為±1.5 μm, 2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm, 5 m內(nèi)為±4 μm |
20 μm |
~10.8 μm/m/°C |
5 m |
TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 |
刻劃精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
RESM/REST/RESD ![]() |
±3.97至±0.38角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C
|
52至550 mm
|
TONiC、TONiC UHV |
柵尺名稱 |
安裝精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
REXM/REXT ![]() |
(≥100 mm直徑)±1角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C |
52至417 mm |
TONiC、TONiC UHV |
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