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TONiC UHV resm增量式圓光柵

TONiC UHV讀數(shù)頭具有標準TONiC讀數(shù)頭的優(yōu)異性能，而且其設計和制造使用了UHV兼容材料和工藝，因此適合用于低至10-10Torr的高真空條件。

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儀器詳情儀器參數(shù) 相關問答

什么是TONiC UHV？

TONiC UHV是雷尼紹向高真空應用領域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng)，可為客戶提供更強的運動控制性能。
TONiC的速度高達10 m/s，與Ti接口結合使用，其在線性和旋轉應用中的分辨率均達到1 nm。由于安裝公差大，并且只需按下按鈕即可進行校準，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，而且電子細分誤差低，通常小于±30 nm，從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。

什么是RESM圓光柵？

RESM為一體式不銹鋼圓光柵，其柱面上直接刻有柵距為20 μm的刻線，并具有IN-TRAC?光學參考零位。兩種型號有多種尺寸可供選擇（直徑52mm到550mm）?！癆”截面圓光柵安裝精度佳，且具有錐面安裝系統(tǒng)，可減少對公差要求高的加工零件的需求，并消除偏心。還提供“B”截面薄圓光柵，其轉動慣量與質量均較低?！癆”截面圓光柵和“B”截面圓光柵的內徑都比較大，可在UHV應用中靈活安裝。非接觸形式消除了傳統(tǒng)封閉式光柵固有的反向間隙、扭轉誤差（扭變）及其他機械滯后誤差。

為什么選擇這種光柵系統(tǒng)？

超高真空 (UHV)

TONiC UHV讀數(shù)頭具有標準TONiC讀數(shù)頭的優(yōu)異性能，而且其設計和制造使用了UHV兼容材料和工藝，因此適合用于低至10-10Torr的高真空條件。
TONiC UHV系列光柵及附件由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進行殘余氣體分析 (RGA) 經驗證不會污染真空環(huán)境，適用于晶片處理/測試、科學儀器、光譜學、真空檢測設備等多種應用。

尺寸小，但可靠性和性能佳

TONiC讀數(shù)頭采用第三代光學濾波系統(tǒng)，噪聲（抖動）更低，包括自動增益控制和自動偏置控制在內的動態(tài)信號處理使其功能更強大，因此具有優(yōu)異的可靠性和穩(wěn)定性能。這種組合全部集成到讀數(shù)頭內部，可提供高質量的信號純度和較低的電子細分誤差（僅有±30 nm）。結果具有更為平穩(wěn)的速度控制，并且掃描性能和位置穩(wěn)定性都獲得提高，從而有助于*大限度減少真空條件下電機中積聚的熱量；真空應用的所有關鍵參數(shù)均存儲在緊湊型讀數(shù)頭中。

安裝更加方便快捷

讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈直觀顯示信號強度，而可選的診斷組件在機器收起讀數(shù)頭后可遠程檢查系統(tǒng)性能。只需按下按鈕，即可校準參考零位和增量信號，無需機械調整或其他診斷工具。客戶可選的IN-TRAC光學參考零位直接刻劃在增量柵尺上，不僅令設計緊湊，而且校準步驟也更簡單。這樣可產生參考零位輸出，在整個工作溫度和速度范圍內雙向重復精度都能夠達到單位分辨率。

接口選項

TD（雙分辨率）接口

可選雙分辨率正交輸出。
是要求高速運動以及高精度移動的應用的理想選擇。

DOP（雙輸出）接口

提供同步的數(shù)字方波和1 Vpp信號。
設計用于需要將一個或多個操作與運動軸同步的應用場合。

DSi（雙信號接口盒）

雷尼紹的DSi接口盒將來自RESM圓光柵（針對部分圓弧應用則為REST圓光柵）上的兩個TONiC讀數(shù)頭的增量信號組合在一起，對軸承跳動效應進行補償并消除奇次諧波誤差（包括偏心），以提供±2.0角秒的典型總體安裝精度。

技術規(guī)格

測量標準	RESM：輕薄小巧的一體式不銹鋼圓光柵。采用錐面內徑的標準“A”截面圓光柵或者轉動慣量極低的“B”截面圓光柵還提供適合部分圓弧應用的柵尺，如REST
讀數(shù)頭尺寸 (LxHxW)	35 mm x 13.5 mm x 10 mm
柵距	20 μm
圓光柵外徑	52 mm至550 mm。如需更大的定制尺寸，請聯(lián)系雷尼紹
刻線數(shù)	8192至86,400（取決于圓光柵大?。?/span>
參考零位	RESM：帶有單個IN-TRAC 參考零位的圓光柵 REST：適合部分圓弧應用的帶有兩個參考零位的圓光柵
精度* 刻劃精度系統(tǒng)精度	±3.97至±0.38角秒（取決于圓光柵直徑） ±4.20至±0.40角秒（取決于圓光柵直徑）
最高速度模擬數(shù)字	（詳見規(guī)格手冊） -3 dB時為3673 rpm（在52 mm RESM上） 3673 rpm（TONiC：52 mm RESM上分辨率為5 μm）
電子細分誤差 (SDE)	一般 <±30 nm
動態(tài)信號控制	實時信號調節(jié)，包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏置控制 (AOC)，可在操作期間實現(xiàn)性能優(yōu)化
增量信號模擬數(shù)字	（查看規(guī)格手冊了解角度分辨率詳情） 1 Vpp（周期為20 μm）分辨率從5 μm至1 nm
電氣連接	電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m，采用微型插頭（直接連接至TONiC接口）
電源	5 V ±10%，<100 mA（模擬系統(tǒng)），<200 mA（數(shù)字系統(tǒng)）（無端接）
讀數(shù)頭功耗	<100 mA
振動（工作）	55 Hz至2000 Hz時100 m/s²（最大值）
沖擊（非工作）	1000 m/s²，6 ms，?正弦
工作溫度（系統(tǒng)）	0 °C至+70 °C
烘焙溫度（非工作）	120 °C（僅限讀數(shù)頭和柵尺）
防護等級	讀數(shù)頭：IP20 接口：IP20
電纜構造	鍍錫編織銅線電纜，單層屏蔽，帶FEP絕緣

* 系統(tǒng)精度為刻劃誤差加上電子細分誤差 (SDE)。刻劃精度是單個讀數(shù)頭測得的角度和光柵實際刻劃的轉角之間的最大差值。其中不包括應用中存在的干擾，比如偏心。

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