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什么是TONiC UHV？

TONiC UHV是雷尼紹向高真空應(yīng)用領(lǐng)域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng)，可為客戶提供更強(qiáng)的運(yùn)動(dòng)控制性能。
TONiC的速度高達(dá)10 m/s，與Ti接口結(jié)合使用，其在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中的分辨率均達(dá)到1 nm。由于安裝公差大，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡(jiǎn)單。TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差低，通常小于±30 nm，從而有助于實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動(dòng)控制性能。

什么是RESM圓光柵？

RESM為一體式不銹鋼圓光柵，其柱面上直接刻有柵距為20 μm的刻線，并具有IN-TRAC?光學(xué)參考零位。兩種型號(hào)有多種尺寸可供選擇（直徑52mm到550mm）?！癆”截面圓光柵安裝精度佳，且具有錐面安裝系統(tǒng)，可減少對(duì)公差要求高的加工零件的需求，并消除偏心。還提供“B”截面薄圓光柵，其轉(zhuǎn)動(dòng)慣量與質(zhì)量均較低?！癆”截面圓光柵和“B”截面圓光柵的內(nèi)徑都比較大，可在UHV應(yīng)用中靈活安裝。非接觸形式消除了傳統(tǒng)封閉式光柵固有的反向間隙、扭轉(zhuǎn)誤差（扭變）及其他機(jī)械滯后誤差。

為什么選擇這種光柵系統(tǒng)？

超高真空 (UHV)

TONiC UHV讀數(shù)頭具有標(biāo)準(zhǔn)TONiC讀數(shù)頭的優(yōu)異性能，而且其設(shè)計(jì)和制造使用了UHV兼容材料和工藝，因此適合用于低至10-10Torr的高真空條件。
TONiC UHV系列光柵及附件由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境，適用于晶片處理/測(cè)試、科學(xué)儀器、光譜學(xué)、真空檢測(cè)設(shè)備等多種應(yīng)用。

尺寸小，但可靠性和性能佳

TONiC讀數(shù)頭采用第三代光學(xué)濾波系統(tǒng)，噪聲（抖動(dòng)）更低，包括自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏置控制在內(nèi)的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理使其功能更強(qiáng)大，因此具有優(yōu)異的可靠性和穩(wěn)定性能。這種組合全部集成到讀數(shù)頭內(nèi)部，可提供高質(zhì)量的信號(hào)純度和較低的電子細(xì)分誤差（僅有±30 nm）。結(jié)果具有更為平穩(wěn)的速度控制，并且掃描性能和位置穩(wěn)定性都獲得提高，從而有助于*大限度減少真空條件下電機(jī)中積聚的熱量；真空應(yīng)用的所有關(guān)鍵參數(shù)均存儲(chǔ)在緊湊型讀數(shù)頭中。

安裝更加方便快捷

讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈直觀顯示信號(hào)強(qiáng)度，而可選的診斷組件在機(jī)器收起讀數(shù)頭后可遠(yuǎn)程檢查系統(tǒng)性能。只需按下按鈕，即可校準(zhǔn)參考零位和增量信號(hào)，無(wú)需機(jī)械調(diào)整或其他診斷工具。客戶可選的IN-TRAC光學(xué)參考零位直接刻劃在增量柵尺上，不僅令設(shè)計(jì)緊湊，而且校準(zhǔn)步驟也更簡(jiǎn)單。這樣可產(chǎn)生參考零位輸出，在整個(gè)工作溫度和速度范圍內(nèi)雙向重復(fù)精度都能夠達(dá)到單位分辨率。

• 雷尼紹的DSi接口盒將來(lái)自RESM圓光柵（針對(duì)部分圓弧應(yīng)用則為REST圓光柵）上的兩個(gè)TONiC讀數(shù)頭的增量信號(hào)組合在一起，對(duì)軸承跳動(dòng)效應(yīng)進(jìn)行補(bǔ)償并消除奇次諧波誤差（包括偏心），以提供±2.0角秒的典型總體安裝精度。