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測量標(biāo)準

REXM：一體式高精度不銹鋼圓光柵

還提供適合部分圓弧應(yīng)用的柵尺，如REXT

讀數(shù)頭尺寸 (LxHxW)

35 mm x 13.5mm x 10mm

柵距

20 μm

圓光柵外徑

52 mm至417 mm

刻線數(shù)

8192至65,536（取決于圓光柵大?。?/span>

參考零位

REXM：帶有單個IN-TRAC 參考零位的圓光柵

REXT：適合部分圓弧應(yīng)用的帶有兩個參考零位的圓光柵

總體安裝精度（配有2個讀數(shù)頭）

（直徑≥100 mm）±1角秒

（直徑75 mm）±1.5角秒

（直徑≤57 mm）±2角秒

最高速度

模擬

數(shù)字

（詳見規(guī)格手冊）

-3 dB時為3673 rpm（在52 mm REXM上）

3673 rpm（TONiC：52 mm REXM上分辨率為5 μm）

電子細分誤差 (SDE)

一般 <±30 nm

動態(tài)信號控制

實時信號調(diào)節(jié)，包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏置控制 (AOC)，可在操作期間實現(xiàn)性能優(yōu)化

增量信號

模擬

數(shù)字

（查看規(guī)格手冊了解角度分辨率詳情）

1 Vpp（周期為20 μm）

分辨率從5 μm至1 nm

電氣連接

電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m，采用微型插頭（直接連接至TONiC接口）

電源

5 V ±10%，<100 mA（模擬系統(tǒng)），<200 mA（數(shù)字系統(tǒng)）（無端接）

振動（工作）

55 Hz至2000 Hz時100 m/s2 （最大值）

震動（非工作）

1000 m/s2，6 ms，?正弦

工作溫度（系統(tǒng)）

0 °C至+70 °C

防護等級

讀數(shù)頭：IP40

接口：IP20