TONiC UHV是雷尼紹向高真空應用領(lǐng)域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng),可為客戶提供更強的運動控制性能。
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TONiC UHV是雷尼紹向高真空應用領(lǐng)域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng),可為客戶提供更強的運動控制性能。
TONiC的速度高達10 m/s,與Ti接口結(jié)合使用,其在線性和旋轉(zhuǎn)應用中的分辨率均達到1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進行校準,因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性,而且電子細分誤差低,通常小于±30 nm,從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。
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RTLC20是一款輕薄小巧的不銹鋼鋼帶柵尺,其具有20 μm柵距和用戶可選擇的IN-TRAC參考零位。精度達±5 μm/m,長度*大達10米。有兩種安裝選項可供選擇,均具有獨自熱膨脹系數(shù)和鋼帶柵尺的便利性。
RTLC20能夠與創(chuàng)造性創(chuàng)新的FASTRACK?柵尺導軌系統(tǒng)結(jié)合使用。該系統(tǒng)可快速輕松地安裝導軌,而無需固定孔。移除一次性墊片,然后將鋼帶送入軌道。
用背面自帶的不干膠帶將RTLC20-S粘貼到基體上。不干膠的作用是確?;w的熱膨脹不會影響到柵尺。
為了完成安裝,兩種類型的柵尺都用夾具夾在一個點上,從而提供基準位置。
TONiC UHV讀數(shù)頭具有標準TONiC讀數(shù)頭的優(yōu)異性能,而且其設(shè)計和制造使用了UHV兼容材料和工藝,因此適合用于低至10 -10 Torr的高真空條件。
TONiC UHV系列光柵及附件由真空兼容材料和粘合劑制成,出氣率低,進行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境,適用于晶片處理/測試、科學儀器、光譜學、真空檢測設(shè)備等多種應用。
RTLC20/FASTRACK非常適合需要將機器拆分進行運輸或其他要求柵尺安裝/拆卸轉(zhuǎn)運的應用場合。柵尺可從導軌上拆下并快速重新裝上,即使在空間狹小受限的場合也是如此,因此減少了機器停機時間。
TONiC讀數(shù)頭采用第三代光學濾波系統(tǒng),噪聲(抖動)更低,包括自動增益控制和自動偏置控制在內(nèi)的動態(tài)信號處理使其功能更強大,因此具有優(yōu)異的可靠性和穩(wěn)定性能。這種組合全部集成到讀數(shù)頭內(nèi)部,可提供高質(zhì)量的信號純度較低的電子細分誤差(僅有±30 nm)。結(jié)果具有更為平穩(wěn)的速度控制,并且掃描性能和位置穩(wěn)定性都獲得提高,從而有助于*大限度減少真空條件下電機中積聚的熱量;真空應用的所有關(guān)鍵參數(shù)均存儲在緊湊型讀數(shù)頭中。
讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈直觀顯示信號強度,而可選的診斷組件在機器收起讀數(shù)頭后可遠程檢查系統(tǒng)性能。只需按下按鈕,即可校準參考零位和增量信號,無需機械調(diào)整或其他診斷工具。客戶可選的IN-TRAC光學參考零位直接刻劃在增量柵尺上,不僅令設(shè)計緊湊,而且校準步驟也更簡單。這樣可產(chǎn)生參考零位輸出,在整個工作溫度和速度范圍內(nèi)雙向重復精度都能夠達到單位分辨率。
接口選項:
TD(雙分辨率)接口
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DOP(雙輸出)接口
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可選診斷組件
TONiC診斷軟件可用于優(yōu)化TONiC光柵的安裝,并提供快速全面的系統(tǒng)校準方案。該軟件必須與TONiC診斷硬件配合使用,硬件可向雷尼紹購買(訂貨號為A-9411-0011)。該硬件內(nèi)嵌至客戶端電子設(shè)備,或通過USB電纜(組件中提供)連接至計算機。
了解有關(guān)TONiC診斷組件的詳細信息。
測量標準 |
FASTRACK RTLC20:帶導軌系統(tǒng)的不銹鋼鋼帶柵尺 RTLC20-S:背面自帶不干膠帶的不銹鋼鋼帶柵尺,可直接安裝至基體,無需FASTRACK導軌 |
讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH) |
35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
柵距 |
20 μm |
熱膨脹系數(shù) |
~10.6 μm/m/°C |
20 °C時的精度等級 |
±5 μm/m |
參考零位 |
IN-TRAC 參考零位直接嵌入RTLC20 / RTLC20-S 選擇器磁鐵用于識別選定的參考零位 |
限位開關(guān) |
單限位或雙限位(訂貨時選擇) |
柵尺長度 |
FASTRACK:100 mm至25,000 mm RTLC20/RTLC20-S:最長可達10 000 mm |
最高速度 模擬 數(shù)字 |
(詳見規(guī)格手冊) -3 dB時可達10 m/s 最高可達10 m/s |
電子細分誤差 (SDE) |
一般 <±30 nm |
動態(tài)信號控制 |
實時信號調(diào)節(jié),包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏置控制 (AOC),可在操作期間實現(xiàn)性能優(yōu)化 |
增量信號 模擬 數(shù)字 |
1 Vpp(周期為20 μm) 分辨率從5 μm至1 nm |
電氣連接 |
電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插頭(直接連接至TONiC接口) |
電源 |
5 V ±10%,<100 mA(模擬系統(tǒng)),<200 mA(數(shù)字系統(tǒng))(無端接) |
讀數(shù)頭功耗 | <100 mA |
振動(工作) |
55 Hz至2000 Hz時100 m/s2 (最大值) |
沖擊(非工作) |
1000 m/s2,6 ms,?正弦 |
工作溫度(系統(tǒng)) |
0 °C至+70 °C |
烘焙溫度(非工作) |
120 °C(僅限讀數(shù)頭和柵尺) |
防護等級 |
讀數(shù)頭:IP20 接口:IP20 |
電纜構(gòu)造 |
鍍錫編織銅線電纜,單層屏蔽,帶FEP絕緣 |
請參閱規(guī)格手冊,了解詳細信息。
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