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?LuphoScan高速非接觸式3D非球面光學(xué)面形測量系統(tǒng)介紹：

LuphoScan測量平臺是一款基于多波長干涉技術(shù)（MWLI）的干涉式掃描測量系統(tǒng)。它專為旋轉(zhuǎn)對稱表面的超精密非接觸式3D形狀測量而設(shè)計，例如非球面光學(xué)透鏡。LuphoScan平臺能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如；拐點的輪廓或平坦的尖點), 最大物體直徑可達(dá)420 mm。因為采用多波長干涉技術(shù)（MWLI）傳感器技術(shù)，因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。

為高質(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測量提供正確效益:
        1. 對任何旋轉(zhuǎn)對稱的表面的深入分析:非球面、球面、平面和自由曲面
        2. 超高、可重復(fù)精度:≤±50nm
        3. 可測量任何材料:透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
        4. 大球面的偏離:不受限制。例如，能夠測量盤式或者鷗翼表面，以及彎曲點的輪廓
        5. 大斜坡:可達(dá)90°(例：半球測量)
        6. 高靈活度:測量局部面、環(huán)形光學(xué)透鏡、矩形表面、衍射面結(jié)構(gòu)表面、錐透鏡
        7. 完整透鏡特征:透鏡厚度、楔形誤差、偏心誤差、透鏡安裝位置
        8. 直徑:120 mm、260 mm或者420 mm
        9. 高速測量:例:1:58分(直徑=30mm,Roc=60mm,100點/mm2),
                         或者5:29分(直徑=130mm,Roc=150mm,50點/mm2);

 使用LuphoSwap擴(kuò)展功能完成對光學(xué)部件形狀誤差特性的測量

LuphoScan 260和LuphoScan 420測量平臺可以應(yīng)用LuphoSwap的擴(kuò)展功能，來對透鏡兩個表面的所有特征進(jìn)行連續(xù)的測量。一個特殊的測量概念能夠?qū)蓚€表面的測量結(jié)果相關(guān)聯(lián)起來。這個概念就是在測量形狀誤差的同時，LuphoSwap能夠確定透鏡兩側(cè)表面的精確的厚度、楔形度和偏心度誤差以及旋轉(zhuǎn)定位。此外，還能夠確定透鏡底座位置。這個強(qiáng)大的軟件工具功能來自于LuphoSmart傳感器技術(shù)，一個優(yōu)質(zhì)的概念模式，以及額外的（跳動）基準(zhǔn)傳感器。

?多波長干涉技術(shù): LuphoScan平臺能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如；拐點的輪廓或平坦的尖點), 最大物體直徑可達(dá)420 mm。因為采用多波長干涉技術(shù)（MWLI）傳感器技術(shù)，因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。 ?測量原理： 掃描過程是通過多波干涉技術(shù)（MWLI）傳感器進(jìn)行的，包含四個精密工作臺。在測試條件下，MWLI點傳感器連續(xù)測量傳感器到被測物的距離。被測件放置在一個可360度旋轉(zhuǎn)的工作臺(C)上，與此同時，傳感器的位置由兩個直線工作臺(允許水平(R)和垂直(Z))移動和一個旋轉(zhuǎn)臺 (T) 進(jìn)行控制。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下，傳感器垂直和等距于被測表面。在嚴(yán)格操控下，沿著樣件對應(yīng)的理想的輪廓移動完成面形掃描。在單個測量過程中，C臺帶動被測物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，其它的幾個平臺移動傳器以便在整個測量平 面上進(jìn)行螺旋式掃描（如圖）。由此產(chǎn)生的點狀圖則顯示了可能出現(xiàn)的任何形狀偏差和物體表面的缺陷，從而完成了對表面形狀的測試。

?LuphoScan 260 HD任何旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)元件的非接觸式三維形狀測量

LuphoScan 260 HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計量的新領(lǐng)域。新一代的測量系統(tǒng)能夠測量物件角度大至90° 度，絕對測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結(jié)果有著很高的重復(fù)性且低噪音。全新的 LuphoScan 260 HD是對高精度有著很高要求應(yīng)用的理想選擇，是生產(chǎn)過程控制的基本要求?？蓽y量坡度很高的表面、具有不同間距方向的表面、很小的表面例如手機(jī)鏡頭模具。