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LuphoScan高精度非接觸式鏡片三維形貌輪廓儀

LuphoScan測(cè)量平臺(tái)是一款基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®)的干涉式掃描測(cè)量系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)光學(xué)組件(例如非球面透鏡)的精密非接觸式3D形狀測(cè)量的目的。

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LuphoScan測(cè)量平臺(tái)是一款基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI)的干涉式掃描測(cè)量系統(tǒng)。LUPHO Scan是基于MWLI方法技術(shù)(多波長(zhǎng)干涉儀)的測(cè)量設(shè)備。設(shè)計(jì)用于旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)光學(xué)組件(例如非球面透鏡)的精密非接觸式3D形狀測(cè)量的目的,可以在納米級(jí)上測(cè)量3D光學(xué)組件的真實(shí)形狀。 它專(zhuān)為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)表面的精密非接觸式3D形狀測(cè)量而設(shè)計(jì), 例如非球面光學(xué)透鏡。LuphoScan平臺(tái)能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測(cè)量。 該儀器的主要特性包括高速測(cè)量、特殊表面的高靈活度測(cè)量(例如:拐點(diǎn)的輪廓或平坦的尖點(diǎn))。 因?yàn)椴捎枚嗖ㄩL(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI)傳感器技術(shù), 因此能夠掃描各種表面類(lèi)型如透明材料、金屬部件和研磨表面。能夠測(cè)量120/260/420/600毫米直徑光學(xué)組件的高速非接觸式3D光學(xué)表面形狀測(cè)量?jī)x/輪廓儀.


在使用時(shí)有如下特性和優(yōu)勢(shì):

    1. 測(cè)量精度:復(fù)雜的參考傳感器以及特殊的基準(zhǔn)框架概念, 精度可在±50nm以上。
    2. 高速測(cè)量:典型測(cè)量時(shí)間30mm直徑球面小于2分鐘,130mm直徑球面小于5分半鐘。
    3. 多樣化的測(cè)量平臺(tái)配置:LuphoScan測(cè)量平臺(tái)技術(shù)能夠提供三種不同大小和不同測(cè)量配置的選擇。
    4. 測(cè)量平臺(tái)大小能夠決定被測(cè)物體直徑。 測(cè)量直徑可選:260mm、420mm、600mm、850mm.
    5. LUPHO Scan 120、260、420的三種型號(hào)可以通過(guò)被測(cè)零件的尺寸和可選功能進(jìn)行選擇
    6 . 研究表面旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的可能性:非球面,球面,平面和自由曲面
    7. 完整評(píng)估鏡片特性包括:鏡片厚度,楔形誤差,偏心誤差,鏡片安裝位置等。




主要應(yīng)用領(lǐng)域

LuphoScan測(cè)量系統(tǒng)用于測(cè)量可旋轉(zhuǎn)的對(duì)稱(chēng)表面的3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu), 例如凹面球面透鏡和凸面球面透鏡。 測(cè)量工作臺(tái)的設(shè)計(jì)能夠確保測(cè)量大多數(shù)的透鏡, 而不受任何球形偏離、罕見(jiàn)頂端形狀(平頭)、傾斜或者發(fā)射點(diǎn)圖的限制。除了標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量應(yīng)用外, 還可以使用LuphoScan測(cè)量平臺(tái)的特殊擴(kuò)展工具LuphoSwap不同擴(kuò)展功能, 來(lái)完成多種光學(xué)要素特征的測(cè)量。該工具能夠輔助測(cè)量透鏡厚度, 以及楔形與偏心誤差。 除此之外, 額外的附加軟件類(lèi)型能夠直接測(cè)量間斷的透鏡,如分段表面包括矩形部件、環(huán)形透鏡、有衍射階梯的表面和錐透鏡。


LUPHO Scan 120、260、420的三種型號(hào)可以通過(guò)被測(cè)零件的尺寸和可選功能進(jìn)行選擇


高測(cè)量速度

高響應(yīng)度的傳感器可確保高測(cè)量速度。

鏡頭類(lèi)型 尺寸 測(cè)量時(shí)間
大多數(shù)非球面鏡片 φ420毫米 不到8分鐘
非拋光非球面鏡片 φ55毫米 4分45秒
拋光非球面鏡片 φ54毫米 4分50秒
鷗翼形非球面鏡片 φ48毫米 3分45秒


通過(guò)LuphoSwap對(duì)光學(xué)元件形狀誤差進(jìn)行完整的特性評(píng)估





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