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英國(guó)泰勒霍普森FormTalysurf PGI840:

精密加工機(jī)器，比如單點(diǎn)金剛石車床，使得對(duì)公差要求很小的非球面鏡頭的加工成為可能，波前相差也降低到微不足道的數(shù)值。為了獲得這種高水平的精度，必須有相應(yīng)水準(zhǔn)的計(jì)量。FormTalysurf PGI840具有所需要的各種功能，該測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果可直接輸入到機(jī)床中，進(jìn)而形成“反饋循環(huán)”。系統(tǒng)的低噪音(RMS僅為2nm)為市場(chǎng)提供了**的光學(xué)表面的測(cè)量能力。Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀是一臺(tái)英國(guó)泰勒霍普森公司生產(chǎn)的專門用于各種光學(xué)零部件表面的形狀誤差測(cè)量和粗糙度分析，包括:平面、球面、非球面以及衍射光學(xué)表面輪廓測(cè)量。該系統(tǒng)具有與大多數(shù)光學(xué)加工設(shè)備接口能力，可以將測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)用于加工設(shè)備的優(yōu)化處理。其主要功能如下:

        (1)形狀誤差測(cè)量，包括非球面形狀誤差測(cè)量、直線形狀誤差(直線度)和圓弧。
        (2)輪廓測(cè)量，包括半徑和角度分析;
        (3)表面粗糙度測(cè)量。

Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀有一200mm水平 行程的驅(qū)動(dòng)箱，該驅(qū)動(dòng)箱可沿立柱在450mm范圍內(nèi)垂直移動(dòng)，以適應(yīng)不同高度工件的測(cè)量。驅(qū)動(dòng)箱內(nèi)帶有很高直線度精度的水平基準(zhǔn)，以保證測(cè)量精度。驅(qū)動(dòng)箱下帶有PGI型傳感器，該傳感器具有大的量程和很高的分辨率。傳感器上帶有測(cè)針，測(cè)量時(shí)，測(cè)針在工件表面接觸并水平方向移動(dòng)，測(cè)針的上下擺動(dòng)量通過傳感器傳入電箱和計(jì)算機(jī)，由計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行分析，并將結(jié)果通過打印機(jī)進(jìn)行打印。儀器各軸的移動(dòng)可通過操縱桿或計(jì)算機(jī)控制。

1.掃描箱
(1)測(cè)量行程:  0.1mm-200mm
(2)驅(qū)動(dòng):  可使用操縱桿或計(jì)算機(jī)驅(qū)動(dòng)
(3)移動(dòng)/測(cè)量速度:  0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
(4)數(shù)據(jù)采樣間隔(X):  0.1-15mm測(cè)量長(zhǎng)度時(shí)0.125μm
                              15- 30mm測(cè)量長(zhǎng)度時(shí)0.25μm
                             30-200mm測(cè)量長(zhǎng)度時(shí)1μm
(5)直線度: 0.11μm/200mm

2.機(jī)動(dòng)立柱
(1)材料:環(huán)氧花崗巖
(2)掃描箱移動(dòng)高度: 450mm
(3)驅(qū)動(dòng): 可使用操縱桿或計(jì)算機(jī)驅(qū)動(dòng)
(4)垂直移動(dòng)速度: 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
3.基座、支架和防震支撐.
(1)工作臺(tái)材料: 環(huán)氧花崗巖
(2)工作臺(tái)尺寸: 760 X 500 X 120mm
(3)充氣防震支承，不要求有外接氣源。工作臺(tái)臺(tái)而上有兩個(gè)T型槽
4.傳感器
(1)類型:  位相光柵干涉(PGI)
(2)測(cè)量量程(Z):  8mm (使用60mm長(zhǎng)測(cè)桿)
(3)分辨率: 8mm量程時(shí)0.8nm
(4)量程與分辨率之比: 10,000,000:1
(5)測(cè)量力: 使用60mm長(zhǎng)2μm錐形金剛石測(cè)頭時(shí)為1mN