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泰勒白光干涉三維輪廓儀Talysurf CCI 2000

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。

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泰勒白光干涉表面輪廓儀介紹

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。CCI2000 采用了先進(jìn)的白光干涉技術(shù)。創(chuàng)新的**相關(guān)相干算法,通過建立模板,能夠計算出帶光源相干峰與相位的位置。無論是拋光表面還是粗糙表面,只要反射率超過 0.5%,就能夠被檢測。在非接觸表面三維測量中,CCI2000以100μm范圍內(nèi)0.1nm的高分辨帶來不凡的立體成像效果。


泰勒白光干涉三維輪廓儀Talysurf CCI 2000

關(guān)鍵特性:

1.0?垂直分辨率
2.0?底噪
1,000,000個數(shù)據(jù)點
0.1?RMS重復(fù)精度
0.1%步重復(fù)性



在使用時有如下特性

高精度、低噪音、百萬數(shù)據(jù)點、數(shù)字技術(shù),泰勒霍普森公司白光干涉儀的問世,宣告著微 觀世界表面三維形貌時代到來。對于光學(xué)、半導(dǎo)體、微納米機(jī)械、汽車、醫(yī)藥、軸承等工業(yè) 而言,如果您需要非接觸的方法來檢測物體的三維表面形貌、表面粗糙度、臺階高度、微觀 三維尺寸,CCI2000 提供了完美的側(cè)向精度、納米級的分辨率、非接觸測量、三維形貌顯示, 是您理想的選擇。每當(dāng)需要進(jìn)行非接觸式高精度計量的理想方法來進(jìn)行粗糙度,臺階高度或微觀尺寸測量時,泰勒·霍普森(Taylor Hobson)都能提供您期望的結(jié)果。 Talysurf CCI 2000具有寬的橫向范圍和埃分辨率,可為光學(xué),MEMS,半導(dǎo)體,汽車,醫(yī)療和軸承行業(yè)的研究和制造提供無損3D測量。

數(shù)據(jù)分析工具 

。 以新國際參數(shù)定義的二維及三維數(shù)據(jù)顯示。 
。 面積與體積參數(shù) 
。 二維參數(shù) 120 個 
。 三維參數(shù) 40 個 
。 數(shù)據(jù)處理 
。 自動的臺階高度計算

可溯源的結(jié)果

。 我們采用可以溯源的國際樣塊,對側(cè)面方向與垂直方向進(jìn)行標(biāo)定。 
。 對于我們所測量的幾何的,空間的各種數(shù)據(jù),都可以得到認(rèn)證。

泰勒白光干涉三維輪廓儀Talysurf CCI 2000


關(guān)于英國泰勒霍普森

        篤摯儀器(上海)有限公司專業(yè)代理英國泰勒粗糙度儀、輪廓儀、粗糙度輪廓儀、圓度儀圓柱度儀等精密測量儀器。英國泰勒霍普森Taylor Hobson隸屬于美國阿美特克AMETEK集團(tuán),是不斷創(chuàng)新的精密計量領(lǐng)域的世界**者,杰出的聲譽(yù)源自100多年的計量設(shè)計和精密制造工程經(jīng)驗。代表著表面粗糙度及形狀計量學(xué)領(lǐng)域的高精度等級的計量水平,并為眾多應(yīng)用領(lǐng)域提供接觸和非接觸測量解決方案。英國泰勒擁有大量以尖端發(fā)明**為代表的知識產(chǎn)權(quán),同時仍保有大規(guī)模的研發(fā)團(tuán)隊和高額資金投入。并且不斷將科研成果應(yīng)用于新產(chǎn)品的開發(fā)和改進(jìn),使其更加完善地服務(wù)于用戶。


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