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非接觸式三維輪廓測量儀概述：

Talysurf CCI 6000 適用于高精度三維表面測量分析。一種在垂直方向全程內(nèi)分辨率為0.1 ?，測量噪音低于0.5 ?的高水準(zhǔn)的非接觸式三維表面測量儀。精密三維表面輪廓光學(xué)系列測量儀采用相干相關(guān)技術(shù)進(jìn)行非接觸式表面測量。此類儀器能在僅10秒內(nèi)完成測量數(shù)據(jù)點超過百萬的表面測量，分辨率高達(dá)0.01 nm (0.1 ?)。

Talysurf CCI 6000 干涉儀是一種先進(jìn)的高分辨率的光學(xué)輪廓測量儀。像素達(dá)100萬的傳感器作為系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。該系統(tǒng)可提供測量重復(fù)性和很高的表面細(xì)節(jié)。該系統(tǒng)專為需要進(jìn)行高分辨率測量的（如亞微米級與亞納米級的z軸分辨率）各種不同類型的表面而設(shè)計的。它非常適合應(yīng)用于許多不同的領(lǐng)域包括：半導(dǎo)體制造業(yè)和微機電系統(tǒng)，以及先進(jìn)的科學(xué)研究與光學(xué)業(yè)。

      。垂直分辨率高達(dá)0.1 ? (0.01 nm) 
      。測量噪音（實際測量數(shù)據(jù)）低至0.5 ? (0.05 nm) 
      。標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)測量點為百萬, 系統(tǒng)數(shù)據(jù)測量點可多至四百萬

業(yè)界**的軟件使三維表面測量變得易于訪問。自動分析程序只需按一下按鈕即可進(jìn)行詳細(xì)的測量分析?？梢宰詣幼R別，測量和分類由直徑，面積或體積定義的表面特征。數(shù)據(jù)操作工具由于可以對軟件中的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行軟件調(diào)整和對齊，因此大大簡化了組件的準(zhǔn)備和準(zhǔn)備工作。

      。高分辨率變焦
      。調(diào)平和旋轉(zhuǎn)
      。倒置和鏡像
      。消除形式和缺陷
      。輪廓提取

微觀粗糙度，波紋度，進(jìn)給速度和深度