XD Laser 激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)。將控制箱集成到激光頭里，將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改為全程無線數(shù)據(jù)傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成。XD Laser：5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。1D激光主要可以測(cè)量定位誤差；3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）；5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。
型號(hào)規(guī)格：
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1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)
5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1. 線性：0.5ppm .
2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. *大范圍：800角秒
6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度*大范圍：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
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在使用時(shí)有如下特性
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主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器*長(zhǎng)的控制距離可到25米
4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
XD Laser被來自世界名地的API用戶用于：
CMMICNC的校準(zhǔn)、補(bǔ)償
機(jī)床導(dǎo)軌平行度的測(cè)量
旋轉(zhuǎn)軸的測(cè)量
垂直度的測(cè)量
對(duì)角線的測(cè)量
CNC反饋
機(jī)器人位置反饋
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連續(xù)生產(chǎn)與零故障方案：
為了避免突然停機(jī)、停產(chǎn)，API公司為現(xiàn)代化的機(jī)加工車間提供完全測(cè)量解決方案，也就是零故障方案。長(zhǎng)期以來.車間管理人員一直以1D激光測(cè)量系統(tǒng)來繪制機(jī)床誤差圖及進(jìn)行校準(zhǔn)。而這樣一來，想要測(cè)量完整的21項(xiàng)參數(shù)。則需要進(jìn)行21到24次單獨(dú)的安裝調(diào)試.而且每一軸的每一次測(cè)量都需要1-2小時(shí)時(shí)間.因此，整個(gè)機(jī)床的測(cè)量過程通常要占用兩到三個(gè)工作日.這就使得機(jī)床長(zhǎng)時(shí)間處于停工狀態(tài)，嚴(yán)重影響了車間的利潤(rùn)率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就完全避免了上述缺陷使得對(duì)機(jī)床的測(cè)量快捷、簡(jiǎn)便。
精確的數(shù)據(jù)采集：
實(shí)時(shí)的誤差測(cè)量確保了數(shù)據(jù)采集的正正確性以及高精度的誤差分析自動(dòng)的數(shù)據(jù)采集技術(shù)，簡(jiǎn)化了數(shù)據(jù)采集的過程。
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儀器的溯源性：
API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和德國(guó)PTB等機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)
攜帶方便、操作簡(jiǎn)單：
全套系統(tǒng)重量?jī)H為15千克.可以裝入一個(gè)小型工具箱內(nèi)。由于采用了湊型設(shè)計(jì).XD Laser體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)無需使用三 腳架，使測(cè)量基準(zhǔn)與機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡(jiǎn)化了測(cè)量程序 (免拆機(jī)床護(hù)罩)。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟， 減少了調(diào)整時(shí)間，提高了機(jī)床使用效率。
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美國(guó)XD激光干涉儀基本規(guī)格
功能型號(hào)
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單位
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XD-1D一維型
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xd-3d三維型
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xd-5d三維型
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xd-6d三維型
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標(biāo)準(zhǔn)型
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精密型
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標(biāo)準(zhǔn)型
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精密型
|
標(biāo)準(zhǔn)型
|
精密型
|
線性測(cè)量范圍
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m
|
45
|
|
45
|
45
|
40
|
45
|
45
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線性精度
|
ppm
|
0.5
|
|
0.5
|
0.5
|
0.2
|
0.5
|
0.2
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直線度測(cè)量精度
|
un
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N/A
|
N/A
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（2.0+0.4/m）
或2%
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（1.0+0.2/m）
或1%
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（0.5+0.1/m）
或1%
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（1.0+0.2/m）
或1%
|
（0.5+0.1/m）
或1%
|
|
偏擺角及俯仰角精度
|
角秒
|
N/A
|
N/A
|
N/A
|
（1.0+0.1/m）
或1%
|
（0.5+0.05/m）
或1%
|
（1.0+0.1/m）
或1%
|
（0.5+0.05/m）
或1%
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滾動(dòng)角精度
|
角秒
|
N/A
|
N/A
|
N/A
|
N/A
|
N/A
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1.0或1%
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0.5或1%
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垂直度測(cè)量精度
|
角秒
|
N/A
|
N/A
|
（1.0+0.4/m）
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（1.0+0.2/m）
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（1.0+0.2/m）
|
（1.0+0.2/m）
|
（1.0+0.2/m）
|
材料溫度傳感器精度
|
℃
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
空氣溫度傳感器精度
|
℃
|
0.2
|
0.1
|
0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.2
|
0.1
|
大氣壓力傳感器精度
|
mm Hg
|
1.0
|
0.3
|
0.3
|
1.0
|
0.3
|
1.0
|
0.3
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標(biāo)準(zhǔn)配置及可選附件
標(biāo)準(zhǔn)附件:便攜式儀器箱、環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)(氣象站)、帶有安裝附件和磁力座的轉(zhuǎn)換鏡 、安裝50/6D傳感器的硬件設(shè)備、適用于多數(shù)機(jī)床的所有線性軸測(cè)量
可選附件: 可增加空氣濕度或材料溫度傳感器、 對(duì)角線測(cè)量的光學(xué)系統(tǒng)、垂直度測(cè)量的光學(xué)系統(tǒng)、測(cè)量旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的附件、平面度測(cè)量附件、平行度測(cè)量附件
應(yīng)用案例：
1、API XD激光干涉儀在機(jī)床檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用
2、API :如何用激光跟蹤儀檢驗(yàn)數(shù)控機(jī)床
3、API激光跟蹤儀在航空制造領(lǐng)域的應(yīng)用
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