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XUV系列設(shè)備的真空測(cè)量室能夠通過(guò) X 射線熒光分析 (RFA) 檢測(cè)原子序數(shù)從Na（11）開(kāi)始的輕元素。由于空氣會(huì)吸收輕元素的熒光X射線，因此在大氣環(huán)境中通常無(wú)法使用該方法。因此，該儀器非常適合對(duì)要求嚴(yán)苛的鍍層厚度進(jìn)行測(cè)量和材料分析。FISCHERSCOPE X.RAY XUV儀器配有一個(gè)可抽真空的大型測(cè)量箱。其所裝備的大面積硅漂移探測(cè)器能夠探測(cè)低至1 keV的熒光輻射能量，從而能夠有效地測(cè)量元素Na、Mg以及元素Zn、Cu、Ni的L輻射。大孔徑準(zhǔn)直器的使用大幅提高了信號(hào)計(jì)數(shù)率，使儀器可以達(dá)到很小的重復(fù)精度和很低的測(cè)量下限。XUV非常適合測(cè)量很薄的鍍層和痕量分析。

種類、來(lái)源和真實(shí)性，是評(píng)估寶石價(jià)值的本質(zhì)特征;而寶石材質(zhì)的分析結(jié)果則是影響判斷的決定性因素。通常，寶石的主要成份是鋁和硅的氧化物，還會(huì)伴隨有鎂和鈉等元素。另外，Cr、Fe、Ga等微量元素也是很重要的。XUV可以分析所有必要元素的光譜圖。在多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用中，非常薄的Al鍍層、Si鍍層、氧化鋁鍍層和氧化硅鍍層正在變得原來(lái)越重要。在真空環(huán)境中鍍層厚度的測(cè)量結(jié)果有顯著的提高。使用XUV來(lái)測(cè)量這些鍍層，重復(fù)精度僅幾個(gè)納米。