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美國ZYGO DynaFiz新型干涉儀

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設計為在有空氣湍流和極端振動的環(huán)境中進行精確的光學計量的優(yōu)化的光學儀器。

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新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設計為在有空氣湍流和極端振動的環(huán)境中進行精確的光學計量的優(yōu)化的光學儀器。DynaFiz? 光學系統(tǒng)的長壽命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相機的高速快門能夠“凝固”振動。這種動態(tài)能力提供了在惡劣的環(huán)境中,傳統(tǒng)的時間相移技術不可能實現(xiàn)的可靠的測量。

      DynaFiz? 干涉儀的低噪聲,高分辨率相機和光學放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中間空間頻率特征。DynaFiz? 干涉儀具有獨特的實時數(shù)據(jù)獲取能力也給光學系統(tǒng)檢測提供了便利。 LivePhase? 獲取能力提供了實時Zernike反饋為光學系統(tǒng)的光路對準進行追蹤。這是一個電影形式,把一系列動態(tài)圖像連接成電影提供光學系統(tǒng)隨時間變化的過程。采用具有獨特性能和多功能的ZYGO DynaFiz? 干涉儀將使你的計量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。

主要性能特點

      ?  可以在空氣擾動和極端震動的環(huán)境中進行動態(tài)測量;
      ?  更新的抗振模式QPSI快速機械移相法;
      ?  優(yōu)化的光學系統(tǒng)清晰呈現(xiàn)被測面的中頻信息;
      ?  LivePhase技術能夠進行實時的Zernike分析;
      ?  影片模式捕獲、反映波陣面隨時間的變化情況;
      ?  CARS功能,可以消除灰塵臟點引起的衍射環(huán),及其對測試結果的影響
      ?  DynaFiz校正算法,適用于高階和低階相差;


DynaFiz® Interferometer System

圖為:DynaFiz® Interferometer System


系統(tǒng)主要參數(shù)

測量功能
精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前
測量技術
DynaPhase動態(tài)測量技術;可選模式:機械相移測量(PSI)
校準系統(tǒng)

動態(tài)模式
DyanaPhase 對準向導校準
移相模式
快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)
對準視場范圍FOV
±3°
測量光束直徑
4″(102mm)
光學中心線
4.25″(108mm)
激光光源
大功率穩(wěn)定氦-氖激光,IIIa 級
波長
 633 nm
頻率穩(wěn)定度
< 0.0001 nm
相干長度 
>100m
成像分辨率
1200 x 1200 像素
幀速
50Hz(600 x 600 像素:82Hz)
數(shù)據(jù)模式
10位
放大
電控塔臺切換,1X,1.7X,3X
偏振
接近圓偏振(1.2:1或者更好)
光曈調焦范圍
±2m
無線遙控
聚焦,放大,校準控制;遙控范圍:15m
計算機和軟件
高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO **MetroproTM X軟件
安裝構造
水平臥式或垂直立式
附件
參考ZYGO 激光干涉儀附件向導文件,OMP-0463
尺寸(長x寬x高)
60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);帶移相器長度增加9cm(3.6in.)
重量
≤80lb(36 Kg);帶移相器增加10lb(5kg)
電源
100-240VAC,50/60Hz
保修期
2年



在使用時有如下特性







MX軟件功能強大,操作簡單

      ?  集成大量常用測量程序模塊
      ?  多個樣品的同時分析
      ?  球面曲率半徑的測量
      ?  角錐和棱鏡測量
      ?  雙球面和三平板的測量
      ?  相對角度和楔板楔角的測量
      ?  材料均勻性的測量
      ?  傅立葉變換移相干涉測量(MST型)
      ?  動態(tài)設備如MEMS的測量
      ?  薄膜上下層形貌和厚度的測量
      ?  金屬零件的測量

簡單的定制過程,用戶可調

      ?  設定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過程中的各種參數(shù)
      ?  選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結果
      ?  幾百種符合工業(yè)標準的數(shù)據(jù)可供選擇
      ?  自定義屏幕上各種窗口的編排
      ?  保存和輸出每個樣品參數(shù)測量.分析設定數(shù)據(jù)結果

適用于工業(yè)化生產的軟件

      ?  質量控制--自動顯示“合格/不合格”
      ?  編程功能--儀器自動按用戶所編程序模式運行.產生相應的信息
      ?  根據(jù)用戶定義的計算公式,產生相應的結果
      ?  實時屏現(xiàn)SPC
      ?  自動數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計
      ?  應用程序"鎖定"功能














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