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美國ZYGO DynaFiz新型干涉儀

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極端振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。

市場價(jià):

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新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極端振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz? 光學(xué)系統(tǒng)的長壽命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相機(jī)的高速快門能夠“凝固”振動(dòng)。這種動(dòng)態(tài)能力提供了在惡劣的環(huán)境中,傳統(tǒng)的時(shí)間相移技術(shù)不可能實(shí)現(xiàn)的可靠的測量。

      DynaFiz? 干涉儀的低噪聲,高分辨率相機(jī)和光學(xué)放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中間空間頻率特征。DynaFiz? 干涉儀具有獨(dú)特的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)獲取能力也給光學(xué)系統(tǒng)檢測提供了便利。 LivePhase? 獲取能力提供了實(shí)時(shí)Zernike反饋為光學(xué)系統(tǒng)的光路對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行追蹤。這是一個(gè)電影形式,把一系列動(dòng)態(tài)圖像連接成電影提供光學(xué)系統(tǒng)隨時(shí)間變化的過程。采用具有獨(dú)特性能和多功能的ZYGO DynaFiz? 干涉儀將使你的計(jì)量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。

主要性能特點(diǎn)

      ?  可以在空氣擾動(dòng)和極端震動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行動(dòng)態(tài)測量;
      ?  更新的抗振模式QPSI快速機(jī)械移相法;
      ?  優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)清晰呈現(xiàn)被測面的中頻信息;
      ?  LivePhase技術(shù)能夠進(jìn)行實(shí)時(shí)的Zernike分析;
      ?  影片模式捕獲、反映波陣面隨時(shí)間的變化情況;
      ?  CARS功能,可以消除灰塵臟點(diǎn)引起的衍射環(huán),及其對(duì)測試結(jié)果的影響
      ?  DynaFiz校正算法,適用于高階和低階相差;


DynaFiz® Interferometer System

圖為:DynaFiz® Interferometer System


系統(tǒng)主要參數(shù)

測量功能
精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
測量技術(shù)
DynaPhase動(dòng)態(tài)測量技術(shù);可選模式:機(jī)械相移測量(PSI)
校準(zhǔn)系統(tǒng)

動(dòng)態(tài)模式
DyanaPhase 對(duì)準(zhǔn)向?qū)?zhǔn)
移相模式
快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
對(duì)準(zhǔn)視場范圍FOV
±3°
測量光束直徑
4″(102mm)
光學(xué)中心線
4.25″(108mm)
激光光源
大功率穩(wěn)定氦-氖激光,IIIa 級(jí)
波長
 633 nm
頻率穩(wěn)定度
< 0.0001 nm
相干長度 
>100m
成像分辨率
1200 x 1200 像素
幀速
50Hz(600 x 600 像素:82Hz)
數(shù)據(jù)模式
10位
放大
電控塔臺(tái)切換,1X,1.7X,3X
偏振
接近圓偏振(1.2:1或者更好)
光曈調(diào)焦范圍
±2m
無線遙控
聚焦,放大,校準(zhǔn)控制;遙控范圍:15m
計(jì)算機(jī)和軟件
高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO **MetroproTM X軟件
安裝構(gòu)造
水平臥式或垂直立式
附件
參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?,OMP-0463
尺寸(長x寬x高)
60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);帶移相器長度增加9cm(3.6in.)
重量
≤80lb(36 Kg);帶移相器增加10lb(5kg)
電源
100-240VAC,50/60Hz
保修期
2年



在使用時(shí)有如下特性







MX軟件功能強(qiáng)大,操作簡單

      ?  集成大量常用測量程序模塊
      ?  多個(gè)樣品的同時(shí)分析
      ?  球面曲率半徑的測量
      ?  角錐和棱鏡測量
      ?  雙球面和三平板的測量
      ?  相對(duì)角度和楔板楔角的測量
      ?  材料均勻性的測量
      ?  傅立葉變換移相干涉測量(MST型)
      ?  動(dòng)態(tài)設(shè)備如MEMS的測量
      ?  薄膜上下層形貌和厚度的測量
      ?  金屬零件的測量

簡單的定制過程,用戶可調(diào)

      ?  設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過程中的各種參數(shù)
      ?  選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結(jié)果
      ?  幾百種符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)可供選擇
      ?  自定義屏幕上各種窗口的編排
      ?  保存和輸出每個(gè)樣品參數(shù)測量.分析設(shè)定數(shù)據(jù)結(jié)果

適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件

      ?  質(zhì)量控制--自動(dòng)顯示“合格/不合格”
      ?  編程功能--儀器自動(dòng)按用戶所編程序模式運(yùn)行.產(chǎn)生相應(yīng)的信息
      ?  根據(jù)用戶定義的計(jì)算公式,產(chǎn)生相應(yīng)的結(jié)果
      ?  實(shí)時(shí)屏現(xiàn)SPC
      ?  自動(dòng)數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計(jì)
      ?  應(yīng)用程序"鎖定"功能














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