當(dāng)產(chǎn)量提高與性能需求的問題同時(shí)出現(xiàn)時(shí)，透鏡表面和透鏡半徑制作從而變得越來越關(guān)鍵和困難。用于DVD播放機(jī)、手機(jī)、CD ROM、內(nèi)窺鏡、數(shù)碼相機(jī)和其他高產(chǎn)量產(chǎn)品所需的光學(xué)元件需求量正快速增長，同時(shí)所要求的性能規(guī)格也越來越嚴(yán)格。然而，這些產(chǎn)品越來越輕薄短小，所以在每一道生產(chǎn)工序上也就越來越不易控制其性能。在光學(xué)性能檢測上所遭遇了挑戰(zhàn)，其中包括：光學(xué)表面形態(tài)、光學(xué)表面半徑、球面鏡和非球面鏡的發(fā)射波陣，以及多透鏡光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)性能檢測；制造商也遇到了必須解決影響產(chǎn)品質(zhì)量下降的一系列問題，例如發(fā)生過度或欠缺拋光、光學(xué)模具損耗、材質(zhì)變動(dòng)與組裝公差等等問題。
PTI 250 是一套穩(wěn)定且易于使用的干涉儀，可以提供透鏡和透鏡系統(tǒng)的3維表面形態(tài)面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為：PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。這是一套小型干涉儀系統(tǒng)，其與ZYGO公司所制造的干涉儀（也是世界標(biāo)準(zhǔn)）一致。PTI 250 是純正的ZYGO干涉儀，同時(shí)還提供易于使用和可靠的測量方法且有很好的投資報(bào)酬率，極適合高產(chǎn)量生產(chǎn)控制，同時(shí)也可作為科研人員研發(fā)使用。
在使用時(shí)有如下特性
? 25mm孔徑干涉儀附帶涵蓋許多應(yīng)用范圍的系列光學(xué)配件
? 操作方便且快速的干涉條紋對準(zhǔn)系統(tǒng)手動(dòng)孔徑調(diào)焦降低邊緣衍射并加強(qiáng)性能
? Z軸手動(dòng)粗調(diào)300mm與微調(diào)30mm直接與世界標(biāo)準(zhǔn)的ZYGO GPI 及VeriFire 干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)
? 配有高精度、高可靠度且易于使用的溫控半導(dǎo)體激光器
? 可選用垂直、水平或向上方式的測試座提供未來產(chǎn)品升級需要與附件使用
? 根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為：PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250V
圖示：美國ZYGO PTI 250激光干涉儀
規(guī)格
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PTI 250RS
? 具備研究用干涉儀所需要的高功能性及靈活性。
? 在2秒內(nèi)，可產(chǎn)生多于300,000個(gè)像素的定量三維圖。
? 位相測量干涉儀，精度大于λ/100。
? 采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法，在不穩(wěn)定及有振動(dòng)的環(huán)境下仍能測量
? 采用標(biāo)準(zhǔn)的Zygo MetroPro界面――干涉檢測的國際標(biāo)準(zhǔn)。
? 可測曲率半徑 (選用)。
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PTI 250P
? 生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。
? 可產(chǎn)生多于300,000個(gè)像素的定量表面形態(tài)圖。
? 位相測量干涉儀，精度大于λ/100。
? 采用MetroPro軟件，多語言支持的操作界面。
? 可測曲率半徑 (選用)。
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PTI 250F
? 經(jīng)濟(jì)實(shí)用的生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。
? 采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法可在干擾較大的生產(chǎn)環(huán)境下進(jìn)行可靠測量。
? 可產(chǎn)生多于300,000 個(gè)像素的定量表面形態(tài)圖。
? 采用FlashPhase作位相測量。
? 采用標(biāo)準(zhǔn)的Zygo MetroPro 軟件，多語言支持的操作界面。
? 可測曲率半徑 (選用)。
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PTI 250V
? 生產(chǎn)用快速檢測干涉儀。
? 目測條紋方式，檢測產(chǎn)品。
? 可測曲率半徑 (選用)。
? 可升級到PTI 250F 和PTI 250P 。
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主要技術(shù)參數(shù)
儀器類型
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具有相位測量功能的小型Fizeau 型生產(chǎn)用干涉儀。
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數(shù)據(jù)采集
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FlashPhaseeTM
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應(yīng)用范圍
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小球面和平面檢測。表面狀態(tài)的定量測量，傳輸波陣面測量及半徑測量。測量方向 垂直向下測量。
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測試光源
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Class I級 655 nm 半導(dǎo)體激光
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測試光直徑
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25 mm
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CCD采集
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640 x 480
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像素調(diào)焦范圍
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±250 mm 手動(dòng)可調(diào)
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調(diào)準(zhǔn)方式
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配合集成型LCD雙光點(diǎn)對準(zhǔn)
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觀察方式
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計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)圖像顯示
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計(jì)算機(jī)
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高性能個(gè)人電腦，硬盤、 CD-ROM 和17"顯示器
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軟件
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Microsoft Windows XP專業(yè)版下的ZYGOPTI 250 軟件
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電源
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100 - 240 VAC, 50/60 Hz
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尺寸與重量尺寸(高x 寬x長)
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686 x 203 x 356 (mm)
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重量
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33 kg
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性能參數(shù)測量不確定度1
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平面測試: λ/20
球面測試: λ/10RMS
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重復(fù)性2
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λ/2000 (1σ)RMS
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精度3
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λ/500 (1σ)
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環(huán)境要求溫度
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15°C - 35°C (60°F - 95°F)
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溫差變化
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<1.0°C / 15 min
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濕度
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相對濕度10% - 95% , 無凝結(jié)
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防震
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無需特別防震
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語言
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英語，德語，日語，簡體中文，繁體中文
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1 測量精度取決于：傳輸面鏡頭精度、光學(xué)系統(tǒng)和成像系統(tǒng)的幾何形變、檢測時(shí)所用條紋的多少。當(dāng)用7 條或更少的條紋評測時(shí)，PTI可以達(dá)到λ/20 以上。
2 重復(fù)性指每10 個(gè)測量序列平均值相比的相同性，每個(gè)測量序列包含16 次測量，其數(shù)值定義為1σ。
3 精度指：10個(gè)測量序列的平均值減去參考值。每個(gè)測量序列包含16個(gè)數(shù)據(jù)，參考值是指10次測量的點(diǎn)-點(diǎn)平均值。
4 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭通過卡座固定到干涉儀下面。
英國雷尼紹Renishaw XL-80激光干涉儀
美國API XD Laser激光干涉儀XD-5D/6D
美國API全新一代激光跟蹤儀 Radian Pro
API伸縮式球桿儀Ballbar
API 主軸動(dòng)態(tài)誤差分析儀
美國API 主軸熱變形分析儀
美國API OMNITRAC 2便攜式無線激光跟蹤儀
