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ZYGO Verifire高性價(jià)比菲索型激光干涉儀

可靠的高性價(jià)比的菲索型激光干涉儀,融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。

市場(chǎng)價(jià):

優(yōu)惠價(jià):0.00

服務(wù)保障:原裝真品|發(fā)票保障|全國(guó)包郵|售后無(wú)憂
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手機(jī)號(hào):15921165535 
郵箱:[email protected] 

工作時(shí)間:09:00-17:45


ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀,繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn),融合了機(jī)械相移技術(shù)、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等,是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire?系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測(cè)量,每種型號(hào)均具有特殊的應(yīng)用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設(shè)計(jì)延續(xù)了zYG0在面形計(jì)量行業(yè)*與倫比的經(jīng)驗(yàn)。共光路的設(shè)計(jì)結(jié)合ZYG0**的采集算法,和功能強(qiáng)大的批軟件實(shí)現(xiàn)了高精度的表面計(jì)量與先進(jìn)的分析能力。

關(guān)鍵性能:

?    斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測(cè)量
?    友好的圖形用戶界面,易于生產(chǎn)線上操作
?    創(chuàng)新箅法使其在振動(dòng)環(huán)境中也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確計(jì)量
?    利用先進(jìn)的過(guò)程控制技術(shù),快速提取測(cè)試中不變的信息
?    每一幀數(shù)據(jù)都將振動(dòng)信息凍結(jié)


所有 Verifire? 系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測(cè)量,每種型號(hào)均具有特殊的應(yīng)用,列于下表:

型號(hào): XPZ QPZ ATZ MST Asphere
核心技術(shù): 相位移式干涉儀 (PSI) 傅立葉轉(zhuǎn)換相位移
式干涉儀
**非球面演算
法相位移式干涉儀
光源: 點(diǎn)光源 點(diǎn)光源和 Ring of Fire?環(huán)形光源(波紋抑制)
變焦: 自動(dòng) 1-6X 數(shù)位控制 1-5X
聚焦: 自動(dòng) 數(shù)控步進(jìn)焦距控制
解析度: 640 × 480 圖元 1k × 1k 圖元
幀速: 75 Hz 100 Hz 43 Hz


ZYG0激光器長(zhǎng)壽命、高功率、穩(wěn)頻

..........ZYG0專有的這款激光器的的激光功率和壽命均遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)市售的激光干涉儀中常用的氦氖激光器。
..........其壽命評(píng)定超過(guò)60000小時(shí),所以我們的激光器可以承諾3年免費(fèi)質(zhì)保,很大限度地減少停機(jī)時(shí)間和提高您的投資回報(bào)率。
..........Verifire干涉儀系統(tǒng)提供平面、球面、光學(xué)系統(tǒng)及組件的透射波前的快速,高精度測(cè)量。
..........可以測(cè)量玻璃或塑料光學(xué)元件,如平板、透鏡和棱鏡,甚至精密機(jī)加工的金屬和陶瓷表面。
Smar tAveraging”技術(shù)
..........測(cè)量平均對(duì)于減少隨機(jī)噪聲源是一種非常有效的辦法,如空氣湍流的影響,但如何確定理想的平均次數(shù)是令人頭疼的-.
..........平均次數(shù)太少影響測(cè)試效果,次數(shù)太多則浪費(fèi)測(cè)試時(shí)間。
..........Smar tAveraging技術(shù)是ZYC0的MXn軟件中一個(gè)特別的功能,可以自動(dòng)計(jì)算評(píng)估并采用理想的平均次數(shù)。
..........Smar tAveraging Tm可以減少操作員的工作量,減少操作者的人為影響,增加測(cè)量結(jié)果的一致性。
QPSIM抗震型干涉計(jì)量
..........優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)結(jié)合高功率激光器,使ZYG0專有的QPS抗震干涉技術(shù),能夠在震動(dòng)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)可靠的“零波紋”相位測(cè)量,并可以在質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)提供準(zhǔn)確的表面計(jì)量。

球面曲率半徑的測(cè)量


集成大量常用測(cè)量程序模塊

?    多個(gè)樣品的同時(shí)分析
?    球面曲率半徑的測(cè)量
?    角錐和棱鏡測(cè)量
?    雙球面和三平板的測(cè)量
?    相對(duì)角度和楔板楔角的測(cè)量
?    材料均勻性的測(cè)量
?    傅立葉變換移相干涉測(cè)量(MST型)
?    動(dòng)態(tài)設(shè)備如MEMS的測(cè)量
?    薄膜上下層形貌和厚度的測(cè)量
?    金屬零件的測(cè)量




簡(jiǎn)單的定制過(guò)程,用戶可調(diào)

?    設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過(guò)程中的各種參數(shù)
?    選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結(jié)果
?    幾百種符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)可供選擇
?    自定義屏幕上各種窗口的編排
?    保存和輸出每個(gè)樣品參數(shù)測(cè)量.分析設(shè)定數(shù)據(jù)結(jié)果
?    適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件
?    質(zhì)量控制--自動(dòng)顯示”合格/不合格”
?    編程功能--儀器自動(dòng)按用戶所編程序模式運(yùn)行.產(chǎn)生相應(yīng)的信息
?    根據(jù)用戶定義的計(jì)算公式,產(chǎn)生相應(yīng)的結(jié)果
?    實(shí)時(shí)屏現(xiàn)SPC
?    自動(dòng)數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計(jì)
?    應(yīng)用程序”鎖定“功能

選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結(jié)果

ZYGO Verifire高性價(jià)比菲索型激光干涉儀


強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能

?    數(shù)據(jù)濾波和剪輯
?    像差計(jì)算
?    PSF和MTF圖
?    斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能
?    ASCII和"XYZ"數(shù)據(jù)格式
?    Zernike分析
?    數(shù)據(jù)和圖像加減、縮放、旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)換
?    ZEMAX、CodeV和0SL0數(shù)據(jù)格式




系統(tǒng)

測(cè)量功能 精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
測(cè)量技術(shù) QPSI快速機(jī)械相移模式和傳統(tǒng)的機(jī)械相移干涉模式(PSI)
校準(zhǔn)系統(tǒng) 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
測(cè)量光束直徑 4″(102mm)或6″(152mm)
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV 4″:±3°;6″:±2°;
光學(xué)中心線 4.25″(108mm)
激光光源 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,IIIa級(jí)
波長(zhǎng) 633 nm
頻率穩(wěn)定度 < 0.0001 nm
相干長(zhǎng)度 >100m
成像分辨率 1024 x 1024像素
幀速 100Hz(PSI)
數(shù)據(jù)采集時(shí)間 130-300ms
數(shù)據(jù)模式 8位
放大 電控1-5X
偏振 接近圓偏振(1.2:1或者更好)
光曈調(diào)焦范圍 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
計(jì)算機(jī)和軟件 高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安裝構(gòu)造 水平臥式或垂直立式
附件 詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件向?qū)募琌MP-0463
尺寸(長(zhǎng)x寬x高) 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量 4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
電源 100-240VAC,50/60Hz


工作環(huán)境:

溫度 15°C - 30°C (59°F - 86°F)
溫度變化率 <1.0°C/15min
濕度 相對(duì)濕度5% - 95% , 無(wú)凝結(jié)
隔振 QPSI模式可以在振幅不超過(guò)150nm的震動(dòng)環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量;機(jī)械移相測(cè)量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統(tǒng)。

 

性能參數(shù):

RMS重復(fù)性(3) < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重復(fù)性(4) < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5) < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)


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